二手 NIKON NSR 2205 i11D #9160392 待售

NIKON NSR 2205 i11D是半導體工業中用於器件制造的先進曝光系統。由NIKON Precision開發，是一種緊湊且高精確度的步進器，用於在矽、玻璃、聚合物等多種晶片上進行高解析度的光刻膠層圖樣和曝光。NIKON NSR-2205I11D基於新開發的由紫外線（UV）-LED陣列和高性能冷凝器透鏡組成的I線光源。該系統設計為提供均勻的光強度和帶寬，非常適合光刻膠層的高精度圖樣曝光。它具有非常低的噪聲水平，使得它適用於極其敏感的設備曝光過程。該系統精確度很高，4平方圖像的最大覆蓋精度為+/-15納米，8平方圖像的最大覆蓋精度為+/-25納米。此外,NSR的綜合功能2205I11D使其能夠降低線緣粗糙度（LER）並保持較低的DOF值。因此，它非常適合先進的設備制造工藝，如接觸光刻和深紫外特征圖樣。步進器的剛性結構和較高的直線性，即使在連續運行過程中也能保證穩定運行。電源在低壓下工作，大大降低電磁噪聲。此外，出色的電機相位控制功能，使高精度的曝光具有1/1000度的可重復性和一個+/-2納米精度。NIKON NSR 2205I 11D配備了大型晶片卡盤和低傾斜級,以確保步進器能夠處理最苛刻的設備制造過程的重復性和吞吐量挑戰。其納米級定位精度確保了卓越的曝光均勻性、可重復性和精湛的成像質量。其配置還允許較大的聚焦深度，以實現鏡頭性能的低跨芯片變化。NSR-2205 I11D憑借其準確、可重復和可靠的性能提供了高水平的生產率。其堅固的設計使其適合於大容量晶圓加工,其特殊的特性使其能夠滿足當今半導體制造中最具挑戰性的曝光要求。