二手 NIKON NSR 2205 i11D #9236906 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一種先進的晶圓步進器,專為在生產環境中需要極高精度和吞吐量的設備制造商而設計。這種晶片步進器利用光源技術和精密光學器件來精確控制遮罩圖樣的曝光。它可以處理高達4.5英寸的晶圓,同時具有高分辨率掃描模式和超高吞吐量的「高速掃描」模式。NIKON NSR-2205I11D晶片步進器利用全場照明設備，稱為NSR Q-Illumination，能夠沿X軸和Y軸傳遞非常均勻的光輻射，整個場的強度穩定。該系統能夠在整個晶片上均勻曝光所有掩模圖樣,而與圖樣大小無關。此模型上的照明單元提供了多種級別的輻照度和焦點,大大有助於在0.5到10 µm的各種圖案尺寸上提高平版印刷性能。NSR 2205I11D還利用移相器進一步微調照明,甚至可以減少或消融遮罩圖案形狀不良部分的凹口。使用此移相器可以更靈活地控制模式的曝光,從而實現更好、更均勻的精細特征分辨率。該模型的掃描模式提供了一種分辨率的選擇,較高的分辨率能夠實現7.5%的線性分辨率,從而為光刻工藝提供清晰度和精度。高速掃描模式非常適合高吞吐量過程,因為它能夠以10%的線性分辨率每小時掃描多達30個晶圓。這種晶片步進器的尺寸不僅限於其照明機器，它還具有一個自動加載的樣品級，能夠有效、最精確地裝卸晶片。它還擁有一個低振動自動聚焦級，可以精確檢測樣品表面，以獲得最佳的曝光結果。對於那些需要精確而高效的晶圓步進器的人來說，尼康NSR-2205 I11D是完美的選擇。它具有先進的光學、照明和掃描模式,可提供精確、均勻和高速的性能,這對於設備制造商在生產環境中非常寶貴。