二手 NIKON NSR 2205 i11D #9236907 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一種領先的晶圓步進器，旨在在半導體器件制造過程中提供高精度和可靠的性能。該系統能夠利用視覺引導的先進對準技術，提供低於50 nm的配準精度和<3 μ m的覆蓋精度。它還配備了NIKON先進的照明校正技術，通過自動檢測局部照明和保持均勻性來提高生產率。此外,集成的現場掃描儀和增強散焦傳輸協議（EDTP）允許非常快速的曝光時間少於5秒。NIKON NSR-2205I11D可以支持所有類型的半導體工藝，包括深紫外光刻、幹涉光刻、植入光刻和直接寫光刻。該系統憑借其優越的光學性能和微步進精度，在快速設備制造過程中也能實現高性能。NSR 2205I11D還可用於幹式和浸入式光刻,具有多種可用的狹縫類型,為最終用戶提供了極大的靈活性。此外,NSR 2205 I 11 D還提供了多項操作創新,例如,它的實時焦點監視器允許將精度集中到1nm ±,而趨勢模式檢測則允許及早檢測暴露錯誤。該系統還配備了NIKON Graphic Language，或NGL，用於自動晶圓處理和編程，以及DAS，或Delta Auto Search，用於絕對對齊。此外，晶圓步進器還擁有NIKON獨特的螺旋微步進技術，它減少了暴露引起的扭曲並提高了生產率。在性能方面,NSR 2205 I11 D提供了一系列卓越的結果。Rayleigh Interval Optimizer提供了比傳統照明解決方案1.5X 2倍的吞吐量提升。晶圓步進器還具有0.6X放大倍率的最大磁場尺寸105.9mm和4X放大倍率的最小磁場尺寸41.1mm。其Step and Repeat Resolution（步進和重復解析）範圍可達到0.112 μ m,可實現令人難以置信的精細解析度。總而言之,NIKON NSR-2205 I11D在設備制造方面提供了卓越的性能,並提供了一系列功能和性能增強功能,這是我們在這一領域中備受追捧的。無論是用於大規模生產還是用於小規模原型制作和開發,NIKON在現有的新功能和技術中都NSR-2205 I11 D因素,為最終用戶提供卓越的性能和可靠性。