二手 NIKON NSR 2205 i11D #9236908 待售

ID: 9236908
晶圓大小: 6"
Stepper, 6" Reticle, 6" (2) Carriers Illumination: SHRINC3 Lamp illumination: Average power: 949.289 mW / cm² Uniformity: 1.752% Lens distortion: ±0.050 µm Maximum: X: 0.059 Y: 0.042 Minimum: X: -0.031 Y: -0.056 Field inclination: Within: 0.35 µm UL-LR, UR-LL: 0.2 µm AST: 0.25 µm Maximum: 0.276 µm Curvature: -0.016 µm UL-LR: -0.052 UR-LL: -0.032 µm.
NIKON NSR 2205 i11D是一種頂級晶圓步進器,旨在滿足最苛刻的半導體制造需求。它配備了超精密的SR光學器件和高級對準設備,以確保每項工作都能獲得準確、高效的結果。NIKON NSR-2205I11D是一種具有5軸分辨率的高性能晶圓步進器和高速驅動系統。它占地面積小,安裝和操作簡單,而其出色的光學單元提供卓越的圖像質量。NSR 2205I11D能夠處理3「至12」的基板,還可以容納0.5微米定位精度的步進和重復對準作業。為了確保性能,NIKON NSR 2205I11D配備了多項功能。其i-line和DUV照明系統方便了緊密的可打印圖像尺寸,其精密運動控制機提供了超快的步進和重復對準精度。NSR-2205 I 11 D還包括自動晶片與亮場LED檢測器對準,以及用於改進設備控制的自動引用。為了保證最大吞吐量,NSR 2205 I11 D采用了多種創新技術。其高速晶圓處理功能由多種選項提供動力,包括負載鎖定設計、板載工具和並行彈出機構。這樣就可以將最大吞吐量提高到接近零的浪費水平。NIKON NSR 2205I 11D還配備了兩個電子秤。這些功能可加快數據采集和控制速度,而內置控制工具可提供可重復的實時數據分析。此外,它的高級計算功能還可以通過功能強大且可定制的軟件實現,從而實現對功能、晶圓方向、處理速度和準確性的精細控制。為了確保性能一致,NIKON NSR-2205 I 11 D還提供了許多操作功能。它的溫度控制資產有助於確保穩定的環境持續更長的運行時間,而自定義蠕變監視器和iMode操作監視器的組合有助於提高性能。內置的自動對焦最大程度地提高了效率,而機器的內存管理功能有助於防止數據丟失。NIKON NSR 2205 I 11 D是一個令人印象深刻的晶圓步進器,提供卓越的精度、可靠性和吞吐量。它的特點為各種應用提供了出色的性能,使其成為滿足最苛刻的半導體制造需求的理想選擇。
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