二手 NIKON NSR 2205 i11D #9237613 待售

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是一種先進、高性能的成像設備,旨在滿足先進半導體器件制造工藝的需求。該系統是可靠、經濟高效的映像解決方案,可提供更高的吞吐量和出色的分辨率。NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper具有最先進的KrF準分子激光曝光單元,專為具有大曝光場的高精度成像而設計。曝光源由直徑150毫米的石英子框架組成，內含輸出功率高達250 mW的KrF準分子激光器。激光曝光時間可精確控制在25-6000毫秒的範圍內。NSR 2205I11D晶圓步進器具有極好的對準精度，具有XY亞微米分辨率和+/-0.5um的可重復性。其定位機是NIKON專利的High-Axes DDM（Dual DualMotor）設計的產物，以及直線電機，既延長了精度，也延長了最大加速度。除了精確對準外，可調節的聚焦機構也保證了獨立於晶圓地形的最佳聚焦。NIKON NSR 2205I 11D晶圓步進器是一種極其精確的成像工具。它可以處理直徑不超過12英寸的晶片，晶片庫位於清潔室外。由於封閉式軟件以及自動對齊和聚焦功能,自動化流程是可能的。對於高級設備制造應用,NSR-2205 I11 D Wafer Stepper具有內置OPC以及設計規則檢查功能。使用NIKON NSR 2205 I 11 D晶圓步進器可以進行註釋和測量。該資產配備了用於遠程控制和操作的PC接口。此外，NIKON提供了自動缺陷檢測能力和晶圓圖樣測量，這對於先進的設備制造過程至關重要。NIKON NSR-2205 I11 D晶圓步進器是任何先進半導體器件制造過程中必不可少的工具。其最先進的成像模型和卓越的精度提供了高精度成像和生產先進的半導體器件。