二手 NIKON NSR 2205 i11D #9237615 待售

NIKON NSR 2205 i11D是用於半導體制造的晶圓步進器。它是執行平版印刷過程的6軸設備。相機分辨率高達0.248nm,可實現高精度成像和對準。NIKON NSR 2205能夠執行廣泛的成像任務，包括全場曝光、點曝光和步進重復曝光。NIKON NSR 2205場大小為645 mm x 540 mm，全場吞吐量高達75晶圓/小時。它配備了無反射器步進器、遠心光學對準系統、新型可偏轉光學支架和工件加載單元。步進器具有極精確的曝光能力,螺距、位移和對準精度分別在0.01mm、0.01mm和0.1mRad之間。這些功能確保NIKON NSR 2205能夠執行可靠的映像,並具有高吞吐量,可滿足苛刻的作業要求。此外,NIKON NSR 2205還配備了最先進的圖像數據收集機。該工具可全面測量打印的圖樣數據和基板上的圖樣。通過對這些數據的分析,可以確定打印圖樣的線寬和臨界尺寸,精度為0.05 μ m。NIKON NSR 2205還能夠捕獲高質量的SEM圖像。它配備了集成的光機照明設備，能夠檢測低對比度特征，對比度分辨率為3%。NIKON NSR 2205還附有集成的圖像增強模型，能夠在消除光噪聲和失真的同時銳化圖像。除了提到的功能外，NIKON NSR 2205還配備了高級控制和自動化功能。主機PC通過數字控制（NC）驅動程序與晶圓步進器通信,從而實現高級用戶控制。此外,NIKON NSR 2205能夠自動校準其光學器件,提供增強的成像體驗。NIKON NSR 2205是一種先進的晶圓步進器，能夠可靠地、準確地執行高吞吐量的成像任務。集成的光機照明設備和圖像增強算法可實現高對比度成像。NIKON NSR 2205是任何半導體光刻工藝的理想選擇。