二手 NIKON NSR 2205 i11D #9237616 待售

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是一種先進的高精度光刻設備。用於制作半導體基板上的精確圖樣。該系統由舞臺、激光、步進電機和光學投影儀四個子系統組成。利用步進技術在晶圓尺度上制作精確的圖案零件。該單元設計用於24個晶片同時裝卸，適合批量生產。NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper配備了舞臺和激光源。該級提供了一個精確對準和制作圖案的精確平臺。激光源用於產生具有多種波長的光，用於減少曝光時間和提高圖樣的精度。步進馬達用於移動級和激光器。步進電動機具有高速度和精確度，能夠在晶片上產生精確的圖樣。步進電動機由多個軸控制控制,使其能夠精確定位晶片並對晶片進行陣列處理。步進電動機還具有自動高度調節功能，可提供與更高分辨率型號的自動互連。光學投影儀用於投影晶片上的圖樣。它由光纖和精密光學元件組成，以產生精細的圖案。它還具有高數值孔徑（NA），用於提供更精確的模式和更高的分辨率。該機具有集成的對準和晶圓映射系統，能夠精確定位晶圓以實現精細對準。該工具還可以執行打印文本、生成細線和導電圖樣、幹蝕刻等多種圖樣任務。NSR 2205I11D Wafer Stepper具有自動對焦、高動態性能、25 µm掃描分辨率、傳輸掃描、半透明激光曝光等先進功能。它還具有一系列可定制的軟件和硬件工具，用於促進晶圓處理。所有這些使NSR-2205 I11D晶圓步進成為一種強大而精確的光刻資產。