二手 NIKON NSR 2205 i11D #9237764 待售
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ID: 9237764
晶圓大小: 4"
Stepper, 4"
Panel: MPXIII
Chamber set temperature: Chamber / LLTC / IATC: 23°C
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Laser: 5517B
LSA Laser: 7 mw
ITV Camera: NIKON Original
OF Detection type: NIKON Original
No in-line
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type 2
Wafer condition: SAPPHIRE
Wafer carrier table: Right
FIA
Reticle size, 6"
Reticle library slot: 13 Slots (3 Slots bad)
No barcode & PPD
Control rack PCB
Computer type: VAX 4000 96
Fiducial mark
CDA / Vacuum pipe
STG Guide
SHRINC Lens wheel belt.
NIKON NSR 2205 i11D是為半導體行業的先進應用而設計的高端、多功能晶圓步進設備。這種裝置能夠取得優異的效果,最大分辨率為1.5nm或13.5 nm,產量為10倍。NIKON NSR-2205I11D提供了廣泛的功能集和靈活性。它配備了一個創新的照明系統,提供自適應多鏡頭、雙場和加速曝光技術,使曝光範圍廣泛,精度和精確度更高。該設備有一個主動軸控制平臺和一套增強的縫合能力,允許無縫圖案縫合和曝光。此外,該裝置還包括自動光量控制,以提高特征精度.它具有高達180毫米的芯片大小,使大型基板和復雜的模式。此外,NSR 2205I11D還配備了高級成像拾取單元,可提供更好的圖像清晰度和清晰度,以及更高的放大能力。NSR 2205 I11 D旨在提供可靠和優化的性能,同時提供高分辨率成像。它提供了先進的晶片定位,使設備能夠補償晶片的不同形狀和位置誤差。此外,它的設計目的是通過增強的誤差減少來簡化操作,從而使操作更加輕松快捷。NSR-2205 I11D是一臺多功能機器,在一個軟件包中提供多種特性和功能。它旨在滿足從制造到模具檢測等各種高端應用的需求。它提高了高精度和半導體操作的速度、準確性和效率,在廣泛的生產過程中提供了無與倫比的性能。
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