二手 NIKON NSR 2205 i11D #9244218 待售
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已售出
ID: 9244218
晶圓大小: 8"
Stepper, 8"
Basic version: MCSV
Option version: OCSV
Lamp power
Uniformity
Stepping
Overlay(LSA): lXl+3σ
Overlay(FIA): lXl+3σ
Reticle rotation: Repeatability
Lens distortion: Min~Max
Reticle blind
Main computer:
Computer system
Hard Disk Drive (HDD): DKA200,300
Disk drive: Tape (DAT)
Illumination type: 1.75 kW Lamp
Wafer stage:
Ball screw
Ring type chuck
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: FIX
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi point
Wafer loader:
Type 2
Flat type
Inline (Left)
Cassette (Left)
Control rack position: Right
Reticle loader, 6"+ extra
PPD2
Chamber type: S07
Temperature: 23°C
No bar code.
NIKON NSR 2205 i11D是一種高性能晶片步進器，設計用於單個晶片和群集晶片處理。本機采用強大的DUV光學設備設計，即使是最具挑戰性的基板也能實現高精度處理。NIKON NSR-2205I11D具有新一代的步驟和重復系統,能夠實現極高的分辨率。NSR 2205I11D擁有一個11兆像素傳感器,可實現0.28 µm的對準,並配有一個大卡盤,可提供極好的重復性和準確性。這個步進器還有一個新開發的晶圓對準單元，可以自動檢測晶圓的方向，允許重復精確的對準和放置光掩模。它還包括高速掃描機，使高通量和細致的基板檢查。NSR 2205 I11 D由一個50MHz的NIS控制器和一個掃描儀馬達提供動力，使其具有可靠和有效的運動控制。它還具有自動聚焦和縫合功能,可實現最高精度。利用NIKON NSR-2205 I 11 D,對晶片級和掩模臺位置進行監控和校正,以實現零位置漂移。NIKON NSR 2205I11D是芯片生產的絕佳工具，使用戶能夠獲得高度準確和可重復的對齊精度。它具有大量有用的功能,如高級自動對準、掃描、縫合和自動聚焦功能,以及I/O互鎖,以防止損壞光學器件和基板表面。NIKON NSR-2205 I11D提供了高吞吐量、高精度和可靠性能的完美組合,使其成為最苛刻的芯片和半導體應用的理想選擇。
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