二手 NIKON NSR 2205 i11D #9247255 待售

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是為半導體光學光刻工藝制造的先進成像設備。它是為晶圓對準和精確曝光而設計的，用於高端半導體器件的制造。作為NIKON的旗艦產品,步進器提供卓越的性能,並提供全面的高級功能組合。它能夠在0.14 μ m的範圍內實現多達5代設備幾何形狀,在所有光刻操作中均提供卓越的分辨率和準確性。該單元采用全新設計的光學舞臺，提供高速、平穩的操作。它配備了一個「線掃描光圈」，這是一個獨特的設備，能夠精確對準晶圓，高速掃描模式高達30kHz。此外,該單元還包括一個專有的「高分辨率焦點圖像監視器」,它允許用戶檢測流程條件,從而提高流程的準確性。此外，NIKON NSR-2205I11D步進器利用了復雜的模式匹配算法，提供了在設備級實現完美配準的能力。這樣可提高分辨率,分辨率高達1.4 nm。此外，該系統還設計用於各種不同的曝光，包括垂直和橫向對準、雙圖樣和雙曝光。NSR 2205I11D的其他特殊功能包括高級掃描/激光模式、衍射誤差校準模式、降噪模式和抗振零子功能。掃描/激光模式允許與高速激光器精確對準重叠圖樣,而衍射誤差校準模式減少了與衍射相關的圖樣。最後，降噪模式和抗振子零函數對於防止變形和穩定晶片都很有用。總體而言,NIKON NSR 2205I11D Wafer Stepper是一種創新的、最先進的成像設備,專為先進的光刻工藝而設計。其無與倫比的功能集提供卓越的測量和過程控制，具有高分辨率，準確性和精確度。它非常適合高端半導體器件的生產過程,每次都能帶來令人印象深刻的效果。