二手 NIKON NSR 2205 i11D #9251004 待售
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已售出
ID: 9251004
優質的: 1996
Stepper
MCSV Basic version: 2.31D
OCS Option: 2.18A
Main system: 2.42A
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Alignment
Main computer:
System: VAX4000.90A
Hard disk: DKA200, DKA300
Illumination type: SHRINC3
Revolver type: Conv, ann, small
Wafer stage:
Chuck type, 8"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Wafer loader, 8"
Loader type: Type2 (A3)
OF Type: Notch
Flatzone: 6 O'Clock
Cassette: Left and right
Control rack position: Right side
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Wafer flatness: 1.510 um
Wafer leveling:
X: -0.248 sec
Y: 0.049 sec
Reticle blind setting accuracy:
XP: 0.5 mm
Xm: 0.6 mm
Yp: 0.7 mm
Ym: 0.5 mm
Stepping:
3σ-X: 0.025 um
3σ-Y: 0.023 um
INC Adjustment:
Maximum-minimum: 0.311 um
Curvature: 0.010 um
UR-LL: -0.056 um
UL-LR: 0.081 um
DIS Adjustment:
Maximum-X: 0.037 um
Maximum-Y: 0.047 um
Minimum-X: -0.051 um
Minimum-Y: -0.044 um
Exposure power: 565 mw/cm²
Power uniformity: 0.934%
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D是一種高性能晶圓步進器，設計用於先進的光刻光刻和檢查應用。它由兩個主要部件組成，一個高度先進的照明設備和一個先進的移動階段。照明系統形成優化的投影透鏡，將高分辨率的圖樣投射到半導體晶圓上，允許精確形成特征和更大的均勻性。透鏡由水銀弧燈支撐，在大面積上提供高度照明。光學元件包括激光二極管和一系列有助於提供均勻照明的透鏡。照明單元還具有投影透鏡十字準線，以提高精度。先進的移動階段設計為使晶片在鏡頭表面平滑移動，提供高度的精度和可重復性。可以使用一系列參數對舞臺進行編程,使其能夠精確移動並達到所需的工作距離,同時仍提供所需的曝光時間。高級控制系統用於確保晶圓精確定位。NIKON NSR-2205I11D具有多種安全和維護功能,可確保其可靠性和使用壽命。其符合人體工程學的設計減少了操作員的疲勞，其內置的維護提醒機有助於減少停機時間。晶圓步進器還包括一個環境管理工具，監測和記錄溫度和濕度水平，以保護組件免受損壞。NIKON設計了NSR 2205I11D來提供高質量、高分辨率的圖像。其先進的照明資產和移動階段確保準確和統一的圖像，同時其安全和維護特點確保可靠和持久的性能。NSR 2205 I 11 D適用於晶圓光刻、檢驗和計量在半導體制造設施中的應用。
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