二手 NIKON NSR 2205 i11D #9272637 待售

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是一種先進的成像設備,旨在提供高速和低劑量曝光的卓越覆蓋性能。該系統使用新的NIKON E37A獨特的i-line投影鏡頭，能夠支持200 mm晶圓尺寸範圍內的晶圓，並且可以容納高幀速率（每秒高達80,000幀）。該單元采用新型集成高性能先進OMA（光學模式保證）機,可實現高覆蓋精度和均勻曝光。它采用Compact-Axis雙級機構設計,可實現無粘連的超高分辨率成像和快速聚焦,允許用戶訪問各種基板應用程序以實現高通量過程。此工具還具有高性能的14位TTL電源,以及自動PDL補償工具,該工具用於精確調整方向軸以減小掩碼移位的最佳擬合值。這種獨特的工具在數據訪問和分析功能方面提供了靈活性和準確性,同時最大限度地減少了能耗。NIKON NSR-2205I11D還配備了高級ActiveJob Processing™資產。這種集成的過程控制工具允許用戶使用單個界面對所有成像操作進行編程、優化和協調。該模型還與其他系統集成和共享作業數據,從而提供高水平的可靠性和用戶生產率。設備還包括獨特的自動控制功能,允許用戶配置晶片支持、旋轉和聚焦設置,以及執行自動晶片居中操作。最後,NSR 2205I11D還具有一個集成的熱管理系統,該系統可監控設備的溫度並利用散熱器消除潛在的與熱有關的粘滯。