二手 NIKON NSR 2205 i11D #9276272 待售

NIKON NSR 2205 i11D晶圓步進器是一種高端微光刻設備，旨在滿足電子和半導體行業對更復雜、更小型化的零部件不斷增長的需求。NIKON NSR-2205I11D以其先進的技術和自動化的工藝提供了先進的精度和晶圓均勻性。NSR 2205I11D旨在提供半導體晶片的精確和可重復曝光,具有最先進的功能,包括真正的對齊和視頻叠加功能、三維（3D）成像系統、全自動掃描和反沖管理以及卓越的空中圖像穩定性。該系統還包括提高吞吐量的雙晶片級、獨特的自動級補償單元以及可重復可靠曝光的高分辨率數字控制機。NIKON NSR-2205 I11 D結合了碰撞檢測等先進技術,以防止層厚過大和其他材料缺陷,以及光刻劑量管理（DML）來確定每層的最佳曝光。該工具的全功能數據采集資產（DAS）提供高級實時圖像註冊分析,包括垂直對齊叠加和註冊分析功能。NSR 2205 I11 D還包括一個離線功能,該功能用於對多個晶圓上的晶圓進程進行趨勢分析和比較圖形,並在本地或遠程存儲數據。NSR-2205 I11D還加入了先進的蒙版夾具和X/Y級,以便精確、可重復地暴露蒙版圖樣。此功能允許正確的蒙版配準,並在曝光前與晶片正確對齊。它也適用於長壽命精密對準，無掩模不對準等材料缺陷。該模型使用現場均勻性表征來提高配準精度,以支持關鍵過程。NIKON NSR-2205 I 11 D還包括一個快速、高分辨率的電動機驅動X/Y級，以實現高精度晶圓對準。其先進的機動控制設備可提供高達10nm的分辨率,用於步進元件的精確對準和定位。此外,它還具有一個一步檢查系統,以消除檢查單個特征所需的昂貴等待時間,以及可調節的曝光周期,從而提高吞吐量。總之,NIKON NSR-2205 I11D是一種前沿晶片步進器,旨在為需要更小尺寸、更高質量控制和快速周轉時間的項目提供最高精度、重復性和準確性。其先進的技術、先進的傳感器和自動化的過程確保了過程結果的最高質量和可靠性。該部門還提供卓越的成像、一致性和流程管理功能,為投入的資金提供了真正出色的價值。