二手 NIKON NSR 2205 i11D #9284006 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一種用於高端半導體器件制造的兩束兩場步進器。它能夠產生高分辨率為0.2 μ m的關鍵但高度精確的幾何圖案。NIKON NSR-2205I11D擁有多孔徑幹涉光學設備，具有緊湊的高NA光學系統，以達到盡可能高的分辨率。其光學單元使用反射鏡、透鏡和彎曲的照明器來精確塑造能量形狀，以優化圖樣檢測。這臺機器還包括兩臺linescan相機，其像素大小為0.13 μ m，以及一組低級二進制處理算法，以最大程度地減少計算時間，最大程度地減少對設備生產周期時間的影響。NSR 2205I11D晶片級的設計符合高精度、高速、低噪聲操作的要求。線性級由鋁合金框架制成，旨在提供剛度、阻尼、非線性運動和穩定性的最佳組合。嵌入式電動機為舞臺提供動力，具有脈寬調制和實時自動補償等特點。這種磁性馬達資產與先進的運動耦合和齒輪機構相結合，精確的光束對準。NIKON NSR-2205 I11D的雙波長掃描機制既包含廣譜（UV到Visible），也包含窄譜（UV），提供更高的精度和更高效的操作。NSR 2205 i11D具有很高的掃描精度，允許在半導體生產線中精確定位和控制晶圓。另外，步進器配有高速快門，以防止晶圓圖樣像差因亮度強度降低而引起。NSR-2205 I11D用戶友好,並且由於有多種流程參數和以太網連接,因此易於維護。與傳統步進器相比,此模型更可靠,因為它包含自動對齊功能,可以手動和遠程使用。再者，它內置的自我診斷模型允許實時觀察信息，如電源電壓、照明強度和光譜組成，在出現錯誤時通知用戶。總體而言,NSR 2205I 11D將高分辨率模式脈沖到晶片,使用雙場掃描技術在很短的時間內安裝較小的模具。其高分辨率的光學和先進的控制設備確保了同步運行和準確的生產，使其成為高端半導體器件制造的理想選擇。