二手 NIKON NSR 2205 i11D #9300309 待售

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 9300309
晶圓大小: 6"
i-Line steppers, 6".
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是為高精度光刻而設計的先進成像設備。該系統能夠產生亞微米分辨率,並具有高度通用的設計,使其能夠用於各種生產過程。這個最先進的設備提供高性能成像特性和高度可靠的操作。NIKON NSR-2205I11D具有13英寸大的磁場尺寸,允許機器容納直徑可達200毫米的晶片。它配備了NIKON CFI60光學透鏡,非常適合高分辨率、高精度成像。它還包括一個自動晶圓對準工具與邊緣識別和自動對準相鄰模具。這一資產導致每一次風險敞口的收益率都很高。為了進一步提高產量,該模型采用了補償實際失真的圖像失真補償設備,以確保圖像質量的一致性。步進器具有低真空透鏡室和先進的投影光學設計,以減少透鏡失真的整體像差,提高系統的精度。它還有一個雙快門單元,減少了總曝光時間,提高了吞吐量。此外,NSR 2205I11D還配備了快速對齊機,能夠快速測量陣列相對於晶圓的位置。NIKON NSR-2205 I11 D的設計考慮到了高生產率和質量。其創新設計提供卓越的吞吐量,最大曝光速度為每小時180個晶圓。它還具有一個拾取機構,旨在減少晶片汙染和空氣沖擊,而自動夾緊工具確保晶片在暴露時牢固地固定在適當的位置。該資產還采用自動鏡筒清洗模型,使光學元件保持最佳狀態。總體而言,NSR-2205 I11D是一種先進的成像設備,旨在滿足當今半導體生產過程的需要。它提供高分辨率、準確性和吞吐量,同時還提供可靠的操作。其創新的設計和先進的成像元件使其能夠進入任何生產線,確保最高產量和質量。
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