二手 NIKON NSR 2205 i11D #9359229 待售
網址複製成功！
ID: 9359229
晶圓大小: 2"-8"
優質的: 1995
Stepper, 2"-8"
Wafer stage: Chuck, 8"
Chuck type: Ring type
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Chamber: ASAHI N2A
Main computer:
Hard Disk Drive (HDD): DKA200, DKA300
Storage drive: DAT Drive (MKA 500)
Illumination type:
Shrinc type: 3
Revolver type: Conv, Ann, Small
Wafer loader, 8"
Loader type: 2 (A3)
OF Type: Flat
In line type: Right
Cassette: Left, right
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Lens data:
Lens controller
Lamp power (>650 mW / cm²): 619.047
Illumination uniformity (<2%): 0.75%
Stepping accuracy (<0.050 µm): 0.020/0.022
DIS (Within ±0.050 µm):
X (Min): 0.023um
X (Max): 0.039um
Y (Min): -0.036um
Y (Max): 0.037um
INC (<0.35 µm): 0.245 um (Max-Min)
AST (<0.25 µm): 0.002 um
UL-LR (Within ±0.2 µm): -0.001 um
UR-LR (Within ±0.2 µm): -0.051 um
1995 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D是一款先進的浸入式步進器,具有卓越的圖像質量、高生產率和改進的工藝穩定性。現場尺寸為5.0 x 5.0 mm，設計用於亞微米設備制造應用。這種獨立設備集成了步進和浸入式掃描儀技術,從而實現了最佳的過程控制。該系統配備高速4K浸入式光學器件，實現卓越的影像品質。利用世界領先的激光模式發生器優化特征尺寸和對比度。該單元采用晶圓專用數據處理體系結構構建，以實現快速模式傳輸和較短的掃描時間。它還具有專用的圖像處理引擎，以實現高吞吐量檢查。NIKON NSR-2205I11D旨在提高生產效率和提高工藝穩定性。它具有集成的石刻石刻（LELE）功能,能夠同時實現多個光刻層。它與廣泛的光學元件兼容，包括高數值光圈浸沒式透鏡、環形照明透鏡和離軸照明系統。該機還具有內置的曝光場縫合和曝光模式縫合功能，以實現快速晶圓探測和快速曝光時間。NSR 2205I11D還配備了一個快速的z驅動選項,可以更顯著地減少曝光時間。它裝有操縱桿和6軸電動舞臺，用於精確的對準和曝光控制。NSR-2205 I11D是次微米器件制造行業經濟高效可靠的高生產率晶片步進器。它是先進的光學和成像技術,即使在最具挑戰性的制造過程中也能提供卓越的圖像質量和過程穩定性。此外，其高速工廠數據處理和電源暴露功能使其成為任何晶圓制造的高度可靠和經濟高效的工具。
還沒有評論