二手 NIKON NSR 2205 i11D #9361850 待售
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ID: 9361850
晶圓大小: 4"
優質的: 1997
Stepper, 4"
Wafer type: Flat
Chamber type: Sendai S09
Altitude: Sea level
Lens type: 5IB5
Resolution: 0.35 Micron
Computer type: VAX 4000/90
Expansion unit:
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Data type
External Hard Disk Drive (HDD)
Reticle size: 6"
Illuminator type: 1750 W
Moveable NA: 0.50 to 0.63
LLTC
Reticle libraries
PPD
Bar code reader
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader type: Type 2
Wafer loader pre-alignment 2
Wafer loader in-line: Left
FIA
LSA
SRA
VRA
FC2
Chip leveling
Auto focus 5-points
Ceramic chuck type: 3-Pin rings
No movable microscopes
No shrinc
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D是一種高性能的自動晶圓步進器,設計用於半導體光刻的最佳吞吐量。它由一系列高級以太網和RS422接口支持,用於多個計算機平臺和遠程訪問。NIKON NSR-2205I11D具有高度移動性,非常適合需要對單個基板或全晶片進行高分辨率成像、高速縫合、亞微米配準、覆蓋和臨界尺寸(CD)控制的各種應用。NSR 2205I11 D先進的多軸運動控制技術和高度發達的舞臺設計確保了在所有運動軸上的準確、可重復的定位,從而實現了最佳的生產力和成本效率。其高吞吐量和大聚焦深度使其成為小型和大型基板成像的理想平臺。NIKON NSS 2205 i11D微透鏡系統的多層設計,在高數值光圈下可實現最佳分辨率,有利於優越的分辨率和優越的場均勻性。直觀的用戶界面提供了對所有參數的方便訪問,使得設置和運行作業變得容易。NSR 2205 I11 D由車載Gigapler Series 6600圖像處理器提供動力,提供快速的圖像測量、最大的吞吐量和卓越的圖像質量。NIKON OptiScanHigh技術進一步補充了該處理器,它在測量密集特性方面提供了無與倫比的精確度。在工業自動化方面,高性能的NIKON NSR-2205 I 11 D支持現代通信協議,包括以太網和RS422,使其成為實施廣泛應用程序的可靠平臺。此外,系統還可以由PLC和PC控制,並提供電機和可對接晶片卡作為定制功能的選項。NIKON NSR-2205 I11 D提供了一系列先進的功能,方便高效的光刻.直觀的用戶界面和強大的性能使其成為所有光刻應用的可靠選擇。
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