二手 NIKON NSR 2205 i11D #9364624 待售

NIKON NSR 2205 i11D晶圓步進器是一種精密晶圓步進器,為半導體工業提供了一系列功能。步進器的12英寸自動晶片尺寸為200毫米至300毫米，最大晶片厚度為0.3毫米，重叠0.25毫米。該設備具有高分辨率的視覺設置與電動N2/O2發電機集成到stocker和具有空氣軸承階段。該系統還具有處理多種設計應用的能力，包括N2/O2保護、加熱功能和應用於晶片的激光標記。NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper的雙CCD相機提供出色的圖像拾取精度和高分辨率成像能力。專有的圖像拾取單元利用兩臺2048 x 2048像素CCD相機，對比度極佳，比色精度高，分辨率為0.2微米或更高。它還允許轉彎旋轉，這樣晶圓的正面和背面都可以同時成像。NSR 2205I11D Wafer Stepper還配備了高精度對齊機。該工具在雙相機資產中共有8個配準到5個光學標記上，從1mm的配準點獲得0.11微米的精度。該模型還具有獨特的光學設計,以確保精確測量不同的場尺寸。NIKON NSR-2205 I 11 D晶圓步進器也有高精度曝光設備。該系統具有高性能的快門/探測器機構，並結合了創新的照明技術，以確保曝光照射的足夠均勻性和層厚的均勻性。這個單元還提供了一個長壽命快門，確保最大的圖像精度。NSR-2205 I 11 D晶圓步進器還包括高精度投影機。這個工具配備了一個5區照明鏡，允許從0.6到0.9的5個不同的數值孔徑。資產有6軸調整包括精調所有三軸的亞微米分辨率精確聚焦和散光補償。總體而言,NSR 2205I 11D Wafer Stepper是一種高度精確的模型,具有出色的圖像拾取、晶圓對準、曝光和投影功能。該設備非常適合於生產在纖薄基板上的微米級圖案，並能夠高效生產先進的半導體器件和組件。