二手 NIKON NSR 2205 i11D #9379192 待售

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 9379192
Stepper.
NIKON NSR 2205 i11D是為光刻設計的最先進的晶圓步進器。設備配置方便,可通過重復步驟執行掩蔽和蝕刻操作。步進器能夠處理200 mm和300 mm的基板,使其在各種應用中用途極為廣泛。NIKON NSR-2205I11D利用先進的光學器件,包括一個高數值孔徑,以提供卓越的分辨率。該系統還利用專有的對準單元來優化照明可重復性。有多種數值孔徑選項,可以準確暴露微小的特征。該機可處理0.30至0.75 μ米的暴露。NSR 2205I11D具有自動化的舞臺工具,允許操作員對多達25個不同的位置進行編程。這使操作員可以使用「矢量匹配」或「自動測量」功能快速準確地調整基板對齊。另外,步進器附有二維運動控制,具有高精度和重復性。NSR 2205 i11D的光學資產由一系列有源元件構成,如準直鏡、棱鏡、五角鏡和圓柱透鏡模型(CLS)。所有這些元素都是為了優化性能和提供卓越的圖像質量而設計的。使用這些組件,設備能夠產生高達0.27 μ m的分辨率。NSR 2205 I 11 D是一個健壯的系統,采用先進的技術設計,並使用高級組件構建。該設備安全靈活,具有廣泛的流程應用程序。這種晶片步進器具有卓越的多功能性、動態曝光控制和高分辨率,非常適合各種光刻需要。
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