二手 NIKON NSR 2205 i11D #9383687 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一種著名的用於光刻目的的晶圓步進器。它是用於半導體鑄造廠和微加工的最先進的生產工具之一。該裝置配備了雙室設計和最先進的光學器件，保證了高達1 µm的高端分辨率。NIKON NSR-2205I11D配備了先進的自動對準功能,可實現高精度晶圓放置精度。它還允許快速晶圓交換和最小化叠加誤差。此外,該工具還具有環境補償功能,有助於在不斷變化的環境中穩定光刻性能。該裝置配備了提供全場精度的直列式廣域激光幹涉儀。它還包括一個微像素可尋址監視器，幫助診斷和監測隨著時間推移模式化結果的變化。該設備還能夠運行多個標線,可用於單層和雙層進程運行。該裝置的LED裝有聚焦環，其照度可調至0.25 mW/cm2，用於均勻照明。這款輕型發動機提供了優越的均勻性和高達5 µm的小場尺寸。光源可以在目標能量的0.6% ±內運行，從而最大限度地減少了模式誤差，並消除了垂直步長誤差的風險。NSR 2205I11D采用了最新的ESEDRF（增強光譜發射衍射還原濾波器）技術,從而提高了圖像質量並提高了聚焦深度。該設備還采用了獨特的跨場校正軟件，有助於在相同的方向和景深上重新調整傳輸的模式。總體而言，NSR 2205 I11 D是一種先進而強大的晶圓步進器，非常適合電氣和光電集成電路的生產。它是最苛刻的光刻和微加工要求的理想選擇。