二手 NIKON NSR 2205 i12 #293606914 待售

NIKON NSR 2205 i12是一款高精度、12英寸晶圓步進器，旨在為用戶提供最高水平的光刻性能。這一型號是專門為半導體器件制造而設計的，其基於UV的i-line光源和高達8 「x 10」的場大小。2205 i12采用高速、高精度成像設備,利用H-APO（高精度並行光像）技術提供快速可靠的對準性能。這使機器能夠在晶圓表面上精確定位掩模圖樣，可重復性高達0.2微米。此晶片步進器具有專門的照明功能,包括在一次曝光時提供頂部和底部照明的光學器件,以及用於調整圖像對比度和減少臨界尺寸變化的階梯寬照明。由於電磁幹擾和振動水平低，它在整個對準和掃描操作過程中也具有穩定、可靠的成像。此晶片步進器使用先進的自動自適應能力來調整光/暗相位和對比度平衡,以提供最佳成像結果。它還采用了改進的M-EMRS（Multi-Energy Mask Reference System）技術，以更穩定的曝光條件改善了成像過程。NSR 2205 i12還具有廣泛的增強單元功能，包括自動劑量控制和先進的DENS版本模塊，這都有助於提高半導體器件制造工藝的吞吐量。此外,它還配備了全新的頭部PI保護機,通過防止對細膩區域邊緣造成意外損壞,確保工件的安全。總體而言,NIKON NSR 2205 i 12是一款用途廣泛且可靠的晶圓步進器,提供卓越的性能、易於操作和改進的工藝吞吐量。它旨在為用戶提供各種先進半導體器件制造工藝的最佳光刻性能。