二手 NIKON NSR 2205 i12C #293619763 待售

NIKON NSR 2205 i12C
ID: 293619763
i-Line stepper.
NIKON NSR 2205 i12C是一種用於光刻的高度精確和通用的晶圓步進器。它可以加工多種半導體材料,最常用於在集成電路或其他先進半導體結構上制造結構。設備配備智能無接觸對準傳感器和NIKON NSR-i控制操作平臺。NSR-i平臺運行著一個先進的異步控制系統,能夠處理大面積晶片,同時保持高吞吐量和準確性。NIKON NSR-2205I12C晶片步進器具有超高分辨率成像單元,能夠再現微觀特征,步長極小,可達0.108微米。這種精度允許高精度制造晶體管、電容器和其他特性。此外,高精度對準傳感器使掃描儀能夠以非凡的精度將掩模精確對準基板,確保高質量的結果。NSR 2205 i12C晶片步進器還具有先進的高精度步進/掃描儀機構。該機構可確保高精度晶圓掃描,同時最大限度地減少噪聲汙染。此外,該機制可以實現較高的吞吐量水平,同時消除跟蹤工件。NSR-2205I12C晶圓步進器還配備了先進的清潔室結構。這保證了在光刻操作過程中環境無灰塵和顆粒。該體系結構還確保該過程完全自動化和可重現。此外,NIKON NSR 2205 i12C晶圓步進器還配備了流程恢復硬件和軟件,可防止流程錯誤並最大程度地減少停機時間。機器還提供對過程的實時監控和控制以及過程穩定性控制功能。這使操作能夠針對高產量和產品可靠性進行優化。簡而言之,NIKON NSR-2205I12C晶片步進器是一種高級、高度精確和通用的工具,能夠產生高產率、高通量和卓越的產品可靠性。是先進半導體制造應用的理想選擇。
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