二手 NIKON NSR 2205 i12C #293794461 待售
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NIKON NSR 2205 i12C是為高分辨率和高性能半導體器件生產而設計的高性能晶圓步進器。NIKON NSR-2205I12C具有高產率和最小缺陷率,這要歸功於高精度對準和曝光精度。步進器用於生產多種設備類型,包括內存、邏輯、BiCMOS和雙極,以及細線圖案要求。為確保最大精度,NSR 2205 i12C具有自主模式校正系統和分段掩碼圖像重建(SMIRTM)。對準系統采用12相機電子自動對焦和視覺模式識別系統。獨特的內部透鏡構造最大程度地減少了由極價色差引起的失真,而其高剛度結構減少了不需要的振動。使用8元物鏡,光圈為F4-F5.5。步進掃描儀允許通過8通道光學器件同時進行8次曝光,並且擁有200毫米的可用視野。可通過圖像編輯器從高達25 µm的設備輸入數據,在低寫入電流下,充電最小。掃描儀還允許非接觸式全息自動校準光學工作站。NSR-2205I12C還擁有各種層處理和堆叠選項,以及具有直觀用戶界面的優化掃描儀控制面板。該軟件提供多種功能,從3D數據查看到預掃描硬件診斷。該設備還支持各種行業標準,例如Job Control Language (JCL)和Gerber,以及支持GDS II格式。NIKON NSR 2205 i12C旨在提供各種設備類型的可靠且經濟高效的產量。它具有高性能和易用性,是頂級半導體生產的理想選擇。
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