二手 NIKON NSR 2205 i12D #293606678 待售

NIKON NSR 2205 i12D晶片步進器是為最高性能和可靠性而設計的先進光刻設備。該系統利用專有的i-Line和DUV照明技術,為先進的晶圓制造提供中場分辨率、高吞吐量和極高的精度。步進器提供高場分辨率和高動態範圍成像,以確保在整個工藝步驟範圍內的最佳光刻性能。照明單元的設計同時使用紅外激光和寬帶照明以及專有的探測器設計，在整個曝光光通量範圍內提供均勻的成像。激光的專利設計和特殊的光學方法最大限度地減少了DUV和i-Line成像的波長誤差和焦點誤差。步進器的集成設計允許全自動晶圓步進過程。CCD控制架構通過i-Line四象限投影機提供晶圓位移的精確控制，以保證高通量運行。采用集成EDB板和內置補償軟件兩種控制器，保證了低粒子條件和高跟蹤精度。步進器與各種晶圓材料和加工配方兼容，通過提供各種模式類型功能的多功能設計。通過采用具有像差校正的高效鏡片設計和優化的光通量控制資產來確保邊緣放置精度,可以在工具中實現I-Line處理。此外，該模型還具有支持高密度、全場光刻工藝和高對準精度的自動對焦算法。NIKON NSR-2205I12D晶片步進器還包含了廣泛的安全特性，包括防靜電技術、氮氣註入以及安全操作的互鎖。內置的預測故障檢測和終止停止設備可確保步進器及其組件免受任何潛在損壞。總之，NSR-2205I 12D晶片步進器提供了先進的光刻性能、高動態範圍成像和多用途的模式型兼容性。其集成設計提供高通量、低粒子操作、高對準精度。此外，其安全特性，包括氮氣註入和防靜電技術，為系統及其部件提供了額外的保護。