二手 NIKON NSR 2205 i12D #9092552 待售

NIKON NSR 2205 i12D是一種先進的晶圓步進器,具有高精度的陣列系統和卓越的生產率。NIKON NSR-2205I12D是一種先進的成像步進器,采用「自上而下」和「跨閘」模式技術,非常適合IC設備和電路板等多種應用。該步進器具有多種場尺寸,可支撐從薄薄玻璃（UTG）和薄玻璃（TG）到低照明基板的各種基板。它具有可變的狹縫寬度生成功能,可提供精確的曝光,並提供高精度的線寬和高達0.3 μ m的深度陣列。晶圓步進器配備了一個高性能的投影光學系統，包括兩個透鏡和八個反射鏡。該系統設計速度快,運動平穩,放置精度好.與單場技術相比,它還實現了雙場模式,這需要更少的時間和更少的操作。NSR-2205I 12D還擁有具有陣列性能支持和FOUP處理功能的高級控制系統,以及高速45 nm掃描步驟,以確保最高吞吐量。它還配備了模式數據可視化，使基板均勻性的評估簡單可靠。此外,它還提供了一整套預對齊、對齊和審核功能。NIKON NSR-2205 I12 D的其他特點包括300 mm級、160 mm裝載機間隙、每秒15,000步的最大定位速度和± 1 μ m的最大精度。晶片步進器還配備了自動定心裝置，以確保基板始終被精確定位以進行曝光。NSR 2205 I 12 D專為滿足廣泛的生產要求而設計,為高精度陣列設計提供了更高的生產率、效率和準確性。此步進器具有高評價的雙場陣列能力,非常適合從微處理器到硬盤驅動器、MEMS和LED制造的一系列應用。