二手 NIKON NSR 2205 i12D #9096016 待售

NIKON NSR 2205 i12D
ID: 9096016
晶圓大小: 6"
優質的: 1997
i-Line stepper, 6", 1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D是由NIKON Corporation開發的高性能晶圓步進器。它是最先進的晶圓步進系統之一,專為生產半導體器件、傳感器和離散元件而設計。該設備采用12英寸、5000瓦、UltraViolet (UV)激光和NIKON專有的i12D光譜束組合(SBC)技術。這樣可以實現真正的單束全芯片互連和良好的成像精度。該系統基於先進的自動化控制過程和集成的E級雙軸、電機扳手級、高分辨率腔室控制、低漂移操作,以確保周期時間短、成像均勻。NIKON專有的Dual UniGlide安裝平臺,旨在允許相對廣泛的晶圓尺寸,消除晶圓翹曲,並允許快速準確地加載不同的晶圓尺寸。NIKON NSR-2205I12D通過強大的ScriptControl編程提供自動模式生成。此外,該單元能夠直接控制某些機器和軟件,快速定制程序,優化生產率。還支持模式匹配、重叠、多次曝光和盲轉彎,從而提高生產效率和提高圖像質量。NSR-2205I 12D出色的成像精度是由於其高性能、200 mm焦距鏡頭。它的自動對焦機在很寬的溫度範圍內保持精確的對焦範圍,當溫度降到某個點以下時提供萬無一失的電動工具警報。資產的精密,混合投影光學也結合了4-D掃描儀有源鏡面模型。這樣可以最大程度地減少長時間的軌跡誤差,最大程度地減少圖像失真,並提高圖像質量。為方便用戶,NIKON NSR-2205 I12 D還包括一個LAN連接、圖形用戶界面(GUI)和一個基於PC的遠程操作程序。這些功能使用戶能夠完全控制設備,並有助於提高生產過程的效率和精確度。總體而言,NSR-2205I12D是用於先進光刻生產的直觀可靠的晶圓步進器,是滿足設備制造需求的理想選擇。高性能特性和精密的設計使其成為滿足復雜光刻生產需求的理想選擇。
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