二手 NIKON NSR 2205 i12D #9180767 待售
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NIKON NSR 2205 i12D是由NIKON Precision Inc.該設備設計用於半導體生產的精確光刻。NIKON NSR-2205I12D具有足夠寬的視野來處理直徑12英寸的晶圓。步進器由幾個組件組成,包括先進的光學系統、運動舞臺、自動對焦單元、控制器和封裝精密機器人機。先進的光學工具允許NSR-2205I 12D以4kHz的頻率獲得0.25um的分辨率。它還具有1:1的數值孔徑,使步進器具有很高的吞吐量。NSR-2205 I12D具有多種曝光模式,允許用戶根據模式要求選擇最佳設置。這使得機器能夠完成和縮小裁剪。機器能夠區分不同的材料,如多晶矽、光刻膠等材料,還可以檢測和糾正任何晶圓缺陷。運動階段基於線性電動機資產,對X、Y和theta軸具有快速加速度和高分辨率的能力。這有利於快速制圖、芯片修復和修剪。自動對焦模型是步進器最重要的特性之一,為芯片的每一層提供了高質量的聚焦。NSR 2205 I12 D配備了可提供直觀和用戶友好操作的控制器。控制器旨在快速、準確、輕松地完成任何任務。它能夠存儲多達9,000個數據集,提供方便的存儲和信息的召回。NSR-2205 I 12 D受封裝精密機器人設備保護,該設備控制加速、減速和位置精度,以確保一致的高質量結果。這進一步確保了NIKON NSR-2205 I 12 D以優異的特性、性能和可靠性提供卓越的性能。
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