二手 NIKON NSR 2205 i12D #9225157 待售
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ID: 9225157
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Stepper, 8"
Electric source: Nema box, i-line
Chamber type: ASAHI N2E-A
Reticle size, 6"
NIKON Reticle library: 10-Slot
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle bar code reader
Reticle case, 6"
Wafer size, 8" Semi
Wafer type: Flat zone
Wafer chuck, 8"
Pre-alignment 2: 8"
Wafer loader: Type2 (A3)
Chip leveling
No in-line
Wafer carrier table: Left / Right, in-line
Alignment sensor: LSA / FIA
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517C Laser
LSA Laser: 5 mW
NIKON OF Detection
Rack type: Right
Body-OP Rack cable: 3 m
Lamp power: 2 kW
SHRINC 3
VAX 4000/96
DAT Drive
CRT Monitor
Lens data
NIKON Hard Disk Drive (HDD)
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D是一種中高端晶圓步進器，用於半導體行業的制圖和制造。它是一種強大的光刻工具,具有12英寸的磁場尺寸、400mm的晶圓處理能力和355nm的波長可供曝光。它具有i12成像性能的高精度和分辨率,以及超過當前行業標準的高幀速率（HFR）功能。NIKON NSR-2205I12D還有一個集成的Bruker光源，能夠以30mA的遠光電流進行掃描場曝光。NSR-2205I 12D是一個真正的晶圓級曝光系統，旨在應對當今工廠正在開發的越來越多和越來越復雜的設備。利用12個場大小,可減少切換時間調整和改善曝光均勻性。它還具有模塊化的系統體系結構,允許隨著用戶需求的變化而添加或刪除模塊或組件。NSR-2205 I12 D具有許多其他功能,使其成為日常生產應用的強大工具。它提供高速設備曝光的高幀速率,以及高效節能選項。NSR 2205 I 12 D還有一個先進的光源模塊，具有集成的Brüker光源和一個先進的曝光控制模塊，帶有可變的燈電流控制和曝光調制系統。NSR-2205 I12D配備了頂級控制軟件和固件,使用戶可以輕松重新編程每次曝光的模式和曝光參數。除此之外，用戶有能力在不同曝光或曝光調制速度的五種曝光模式之間進行選擇。此外,它還配備了多種要實現的光學器件,包括射線掃描校正透鏡、線曝光光學器件和板閘等圖樣。為了進行維護,NIKON NSR 2205 I 12 D還提供了遠程系統監視和操作,允許用戶遠程監視狀態和故障。這在生產環境中特別有用,有助於最大限度地減少停機時間,同時提高生產效率。最後,NSR 2205 I12 D是半導體工業光刻的理想工具.它具有強大的成像、高速功能和模塊化設計,為高效的生產模式提供了強大的工具。此外，其集成的Bruker光源和廣泛的光學器件確保了所有的曝光都能以精確、可靠和準確的方式完成。
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