二手 NIKON NSR 2205 i12D #9238335 待售
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ID: 9238335
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Steppers, 8"
Lamp power: About 500 mW
Uniformity: 3.6%
NA Variable system: 0.63 δ
Reticle size, 6"
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 x 22 mm
Reticle SMIF
Extender library: Left to right
Reticle case, 6"
Wafer type: Notch
Wafer chuck, 8"
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment 2: Notch, 8"
Pre alignment 2: Hammer, 6"
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line: Left
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: FIA (No wafer alignment assist microscope / LSA)
Rack type: Normal
Body-OP rack cable: 3m (Normal)
No wafer edge exposure
SHRINC: Type 1, 2, 3
No signal tower
No power meter / Test reticles (A,DIS,C,CD,MF)
No reticle cases
No remote controller
Chamber: ASAHI
Chamber temperature: 23.0°C
Hard disk drive (HDD)
Electric source with NEMA box 2-Lines for CVCF / UPS
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D是一款高性能掃描和曝光設備,專為滿足先進設備制造商的需求而設計。NSR系列中的最新型號旨在實現高精度對齊和精確的可重復曝光。NIKON NSR-2205I12D利用全新設計的光學系統以及內置的ASML®電機和編碼器接口,提供高重復性能和無與倫比的吞吐量。NSR-2205I 12D能夠暴露直徑可達12英寸的晶片,其數值孔徑（NA）為0.6,使其分辨率和拍攝到鏡頭的可重復性提高± 0.5 µm。為了提高精度和可靠性，該裝置采用了一種帶階梯狀瞳孔的衍射限數值透鏡機，可消除失真、光學像差和透鏡耀斑，以實現最大均勻性。此外，其先進的主動對準工具以0.25微米的精度執行高達295,000個對準點，從而提供完美的設備對準。該資產還利用NIKON專利的「浴缸」控制模型來控制透鏡溫度、薄膜厚度和圖案精度等各種元素。NSR 2205 i12D的其他功能包括自動對焦功能、自動校準和高對比度監視器,可在晶圓檢查和對準過程中提供增強的查看窗口。除了提供卓越的性能外,NSR-2205I12D還配備了強大的用戶界面,用戶可以輕松選擇各種曝光和對齊選項。它還設計了一套像粒子誤差和焦點變化這樣的常見誤差，可以很容易地用設備進行補償和調整。所有這些功能使NIKON NSR-2205I 12D需要精確和快速吞吐量的設備制造商的理想選擇。其卓越的性能和用戶友好的界面使這種晶片步進成為市場上最好的之一。
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