二手 NIKON NSR 2205 i12D #9243243 待售

NIKON NSR 2205 i12D Wafer Stepper是一種高度先進的半導體光刻工具,旨在提供經濟高效、可靠且智能的光刻技術。它利用步進掃描和多波長照明功能,在各種應用中實現卓越的分辨率和卓越的性能。NIKON NSR-2205I12D專為快速準確的生產而設計,具有全自動的串聯設備,具有直觀的界面和優化的工作流程。步進器具有12英寸的光刻步進器，曝光時間短，創造出最高的整體圖案精度和可重復性。此外,步進器還配備了先進的晶片裝載機和運輸系統,可實現最大吞吐量,為滿載20個晶片提供一流的18秒生產周期。NSR-2205I 12D還提供了卓越的分辨率和統一性。步進器具有20 nm的高分辨率,掃描步長為5-20 µm,非均勻系數為0.2%,以獲得最佳成像質量。它還提供出色的線緣粗糙度,平均0.2 nm RMS。NSR 2205 i12D還提供出色的過程控制功能。它具有嵌入式模具內目標值和監視功能,能夠快速更改過程性能以及持續的後處理功能。它還提供了均衡的選項組合，包括基於掃描儀和嵌入式對準、激光編碼器、低揮發性顯影劑和電子探針微分析系統，以簡化該過程。NSR 2205 I12 D專為在惡劣的操作環境中持久運行而設計。它具有堅固耐用的腔室設計和高度可靠的光刻裝置，最低壽命為15,000小時。它還有一個頻率控制機，確保準確的重復性。NIKON NSR 2205 I 12 D還通過提供全天候客戶服務提供卓越的用戶支持。它還提供了多種選項來滿足用戶的特定生產需求。NIKON NSR 2205 I12 D具有先進的功能、精密的設計和卓越的客戶服務,是半導體應用的經濟高效且可靠的選擇。它實現了卓越的性能、節省的成本、更好的吞吐量和整體高質量的映像。