二手 NIKON NSR 2205 i12D #9243749 待售

NIKON NSR 2205 i12D
ID: 9243749
Stepper Lamp power: >750mW Uniformity: 1.6%.
NIKON NSR 2205 i12D是一種最先進的晶片步進器,旨在支持範圍廣泛的晶片尺寸,從4「到8」。它具有緊湊、風冷的設計,適合在生產環境中運行。設備有多種對準選項,包括CAT、激光和光學對準。機動化級采用高精度步進電機,具有集成位置控制系統。步進器采用1kW長的弧形投影燈和高數值孔徑的I線光學透鏡。高保真光學和先進的微步進技術提供了卓越的聚焦均勻性和高衍射效率。光學單元在從深紫外線到紅外線的廣泛波長範圍內運作,可以方便地適應各種光刻工藝。該機器可以針對從0.3 um到0.1um的各種分辨率量身定制,以支持最復雜的晶圓設計。該步進器還支持智能夾緊,可實現不同晶片基板的精確快速夾緊,並提供高效的過程控制和產量管理功能。NIKON NSR-2205I12D還具有一系列安全功能和用戶友好的操作選項。這包括一個補償性的鉛螺桿工具,在資產啟動和停止時提供對晶片的溫和處理。一套環境傳感器允許步進器在各種溫度下運行,而內置晶圓對準模型則確保高精度和可重復性。架空載波使設備易於操作和維護,而用戶友好的圖形用戶界面提供了用戶和系統之間的直接連接。NSR-2205I 12D還能夠產生具有明亮穩定光源和先進成像軟件的高質量圖像。此外,步進器可靠、經濟高效,可提供出色的生產吞吐量。
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