二手 NIKON NSR 2205 i12D #9300305 待售

NIKON NSR 2205 i12D晶片步進器是一種一流的光刻工具，設計用於生產尺寸小至12 nm柵極長度的電路。該設備采用先進的十二軸級，以實現最大的定位精度和納米級可重復性。最大舞臺移動速度200毫米/秒，舞臺定位精度6 nm。它配備了獨特的無透鏡成像技術，結合了「高分辨率級幹涉儀」和一組用於光刻的「互動式激光二極管投影」。這種組合可以在更精細的特征尺寸上實現更精確和精確的成像,從而在10 nm工藝節點上實現60線和空間分辨率精度。NIKON NSR-2205I12D采用高精度、高速的XY掃描級,有助於確保整個晶圓內的覆蓋精度無與倫比。一個集成的散射計功能有效地檢測晶圓表面的地形變化，使得產生性能更高的設備，需要非常低的失真和排便成為可能。該系統具有業界領先的10-kW峰值高反射激光照射單元,可在整個晶圓上實現更快、更精確的成像,從而實現最高的生產率和一流的設備性能。為了最大限度地提高吞吐量並實現行業領先的均勻性，可以將光束分成多個光束，同時在整個晶圓上保持一致的性能。NSR-2205I 12D晶片步進器還集成了對齊標記,以進一步提高設備性能和減少排便,以及具有先進自動化的用戶友好的機器體系結構。直觀的圖形控制軟件套件支持OPC建模以及高級光刻應用。為了確保易用性和可靠的性能,該工具還配備了廣泛的過程和計量保證工具。它也有幾種不同配置的型號，使得它適合不同尺寸和材料的晶片。除了這些功能外,NSR-2205I12D晶片步進器還附帶一系列服務選項,例如快速安裝、培訓和支持。這允許無與倫比的性能和可靠性，使其成為精密光刻應用用於小尺寸工藝的理想選擇。