二手 NIKON NSR 2205 i12D #9389868 待售

NIKON NSR 2205 i12D是用於高精度、高分辨率投影光刻的晶圓步進器。設備可以配置廣泛的可互換鏡頭、光學元件和曝光設置，使其能夠滿足各種應用的需求。NIKON NSR-2205I12D使用高精度、大幅面12英寸（300毫米）無掩模的Step and Scan Stage。此階段允許在投影光刻過程中具有卓越的精度和分辨率。NSR-2205I 12D可容納4至6英寸（100至150毫米）晶片,其成像視場可達36毫米x 36毫米,12英寸（300mm）晶片可達43mm x 43mm,具體取決於所使用的鏡頭。此步進器具有0.75 nm的線寬和12 nm的分辨率,可提供極其精確的特征尺寸。該系統配備了高對比度、多層幹涉測量單元，提供所有應用層的高質量成像。該機器還設計用於快速暴露時間和低顆粒汙染，這要歸功於先進的空氣過濾工具和化學輔助沈積（CAD）資產。NIKON NSR-2205 I 12 D為最大化過程重復性和最小化微缺陷,包括一系列對齊系統。步進器使用集成的自動對齊模型快速對齊晶圓幾何形狀和圓形叠加設備，以確保關鍵的對齊精度。NIKON NSR-2205 I12D是一種強大可靠的晶圓步進器，能夠實現極其精確的光刻。該單元配備了所有必要的部件，以滿足各種應用的需求，使其適合大大小小的生產。NIKON NSR 2205 I12 D具有出色的分辨率、高精度精度和陣列對準工具,是晶圓光刻的絕佳選擇。