二手 NIKON NSR 2205 i14E #9223212 待售
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單擊可縮放
ID: 9223212
晶圓大小: 8"
i-Line stepper, 8"
Main system:
Main body
Operation rack
Control rack
Non-SMIF system
PC: DMCC
Display: LCD Monitor
Halogen lamp: SE-025720-N1
PCB Boards:
Interferometer VME unit
LC Unit
ALG Unit
OPD Unit
STG Unit
S/G Unit
RL Unit
WL Unit
LSA Laser head: 3225H-PCN
Interferometer laser head: 5517C
Reticle indexer: Indexer R150
IU Power: 439 mW/cm³
Uniformity: 4.67%
TTL-FC2: 19 nm
Focus: 51 nm
TFD: 188 nm
Distortion maximum (X/Y): 14 / 20 nm
Distortion minimum (X/Y): -25 / -26 nm
Wafer flatness: 0.8 um
Local flatness: 0.3 um
LSA Translation:
X: -8 nm
Y: 5 nm
LSA 3sigma:
X: 55 nm
Y: 58 nm
FIA Translation:
X: -10 nm
Y: 1 nm
FIA 3sigma:
X: 55 nm
Y: 56 nm
Shot magnification: 0.39 ppm
Shot rotation: -0.376 urad
CIM Linked.
NIKON NSR 2205 i14E是為生產光掩模而設計的高精度晶圓步進器。光掩碼用於制造集成電路，包含需要精確定位和對準的圖形元素。這種步進器配備了兩個獨立的光學鏡頭和一個數碼相機，能夠對單個晶圓場進行高精度成像。NIKON NSR-2205I14E提供14英寸晶圓掃描區域。其雙光刻選項使其能夠處理365 nm至248 nm的交替波長。它的兩個導入的SEM LF ISI非球面提供統一的分辨率和焦點深度。高速圖像捕獲允許對整個晶圓場進行高精度成像，並利用其新的計算機輔助算法最大限度地減少模式對齊誤差。步進器的集成玻璃和碎片清除系統可防止設備變質和汙染。這樣可以確保準確的器件形成,並防止昂貴的晶圓後處理。步進器還包括特別設計的特性，將磁場的高度差降低多達1 µm，確保在整個步進器磁場上均勻聚焦。NSR 2205 i14E旨在最大程度地提高產量,同時將成本降至最低。它靈活的校正和叠加功能使零件容易調整到相應的元件系統。它具有耐用和可靠的設計,並具有長期維護功能,因此此步進器最多可運行444小時,無需大量服務或維護。NSR-2205I14E采用最新的行業標準進行設計和制造,提供了無與倫比的晶圓制造效率。它具有先進的成像功能、快速的圖像捕獲、強大的性能和經濟性,是任何半導體生產設施的理想選擇。
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