二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293610268 待售

NIKON NSR 2205 i14E2是一款先進的193 nm浸入式微光刻設備，專為超精密、高通量的微加工而設計。它提供14 nm的最大分辨率、450 mm x 450 mm的圖像場大小以及擴展的聚焦深度。它具有先進的掃描儀和透鏡系統,可確保盡可能高的吞吐量,並可提供出色的成像效果,用於標線和掩模對準,以及簡單、直觀的控制。該單元配備了新一代的i線相幹高靈敏度模式（CHSM）光學器件，提供極高的光學性能。其特點是獲得專利的波前適應、波前優化和偏振功能，以及改進的垂直對齊機，用於在附近使用晶圓進行高精度的叠加測量。該工具還具有直列式真空曝光後烘烤資產，可延長標線的使用壽命並確保一致的高分辨率成像質量。除了成像功能外,NIKON NSR-2205I14E2還配備了多種自動化功能,包括全場自動對準和內置自動校準、大大改進的打印機修補策略以及高級邊緣放置調整。它還提供了在多達16個站點同時晶片圖像的功能。該模型被設計為一種可靠、可重復的光刻設備，非常適合高產微加工。最後，NSR-2205 I14E2與APC和ITOx軟件兼容，後者提供了強大的光刻工藝控制和管理能力。NSR 2205I 14E2具有快速的掃描速度、出色的成像效果和廣泛的自動化功能,是精密晶片步進器應用的強大而通用的選擇。