二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293778925 待售

NIKON NSR 2205 i14E2
ID: 293778925
優質的: 2001
Stepper 2001 vintage.
NIKON NSR 2205 i14E2是為高級半導體工藝和光刻應用而設計的高性能步進器。該i14E2配備了自動調焦設備和內部限位開關,以確保晶片和光掩模的精確定位。該i14E2是一個具有精密光學單元的光刻系統,能夠以0.25 µm的分辨率成像高達200 mm的大型基板。該機結合了高數值孔徑和高分辨率,為生產光刻提供了一種通用的解決方案。NIKON NSR-2205I14E2步進器利用High NA singlet投影透鏡在廣泛的曝光範圍內獲得最佳分辨率。該刀具的快速曝光速度為0.5秒/場,最大限度地減少了光刻工藝的汙染,提高了吞吐量。透鏡塗有多層抗反射塗層(MARC),以獲得更大的亮度和對比度。i14E2晶片步進器還提供了0.5 µm ±的高對準精度,這要歸功於它的雙伺服自動對準資產。NSR-2205 I14E2配備了嵌入式計算機,使模型的操作既簡單又簡單。用戶友好界面允許操作員快速配置設備設置、調整設置和管理晶圓數據。步進器可以遠程操作,允許用戶遠程監視和操作設備。此外,該系統具有進行精密邊緣曝光的能力,能夠對精密結構進行高精度成像。為確保可靠性,該i14E2具有無塵工作環境和高對比度補償濾波器,以改善對比度。最後,i14E2步進器具有高速晶片吞吐量,能夠每小時處理多達200個晶片。總體而言,NSR 2205 i14E2步進器是一種功能強大且用途廣泛的光刻設備,可滿足任何類型半導體加工的生產要求。該i14E2具有高精度設計、快速曝光速度和高通量,是生產光刻應用的理想選擇。
還沒有評論