二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293794192 待售

NIKON NSR 2205 i14E2是一種高分辨率光刻步進器，設計用於生產任何給定尺寸的半導體晶片。設備配備了衍射受限光學系統，掃描範圍大，性能和穩定性水平高。該設備是完全自動化的,並提供各種高級功能,包括模板編輯、可編程的微米增量以實現對齊,以及快速的吞吐量時間。該機包括一個數字孔徑為0.63、分辨率為0.71 μ m的DUV微場曝光系列（MES）光學工具，提供在半導體晶圓上創建納米級結構的能力。光學設備的設計目的是在整個視場中保持統一的陣列,並提供出色的對比度傳遞,具有高效的像差校正和衍射限制成像質量。該型號還包括10 x 10mm的大型掃描範圍，以完全滿足現代半導體制造商的需求。設備先進的矢量掃描技術提供了穩定的步進重復曝光和無振動的線針曝光。此外，該系統還具有較高的可重復性，可實現長期模式均勻性，並具有用於微米對準穩定性的間隙校正單元。機器可以從專用用戶界面或通過其板載可編程邏輯控制器以多種方式進行控制。它還包括多種安全功能，如非接觸式保護和快門、多個安全鎖以及檢測到溫度過高時自動關閉。NIKON NSR-2205I14E2通過其高級功能（包括自動加載、卸載和暴露晶片的APC工具）提供了卓越的吞吐量。此外,其PTI調整允許用戶在掃描過程中更正參數分散,而其模板編輯功能允許用戶在曝光前可視化其模式。NSR-2205 I14E2是大型生產高性能半導體的合一步進器。其功能廣泛、功能強大的工具集專為可重復性和準確性而設計,使其成為尋求可靠和通用光刻資產的制造商的絕佳選擇。