二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293799874 待售

NIKON NSR 2205 i14E2是設計用於半導體工業的先進晶圓步進器。它提供高達0.07 μ米的分辨率和超過4,000個晶圓的超高吞吐量,並在22nm處進行全場曝光。該設備采用了先進的成像技術及其專有的場間曝光方法（IFEM）。這樣可以提高字段之間的對齊精度,從而提高產量和產品可靠性。此外,NIKON NSR-2205I14E2還配備了改進的現場搜索（FSE）機制,有助於減少晶圓中的模式放置錯誤。強大的晶片步進器還包含一個受控的大氣室（CAC）以提供穩定的環境，這有助於敏感材料的使用。它還具有一個大型的13英寸晶片加載臺和一個16英寸的適配器板，用於精確可靠的晶片加載。NSR-2205 I14E2還提供了控制標線的高級功能,從而提高了陣列放置的準確性。它還具有自動化和精確的對準系統，從而提高曝光精度。此外，該裝置還裝有自動面罩表面檢測機，有助於防止光刻缺陷。NSR-2205I14E2還包含一個前端工具端口和各種組件,這些組件允許與外部系統集成和連接。此外,該工具還配備了自動缺陷檢查工具,以提高工藝性能。為確保最大正常運行時間,NSR 2205 i14E2具有軟硬件診斷、遠程診斷支持和預防性維護功能。它還配備了自動工具訪問控制、全套圖像處理參數和自動曝光控制。因此,這種先進的晶片步進器提供了卓越的性能、準確性和可靠性。