二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293808906 待售

NIKON NSR 2205 i14E2是一種高性能晶片步進器，設計用於晶片的高精度和超高速處理。它具有14英寸的配置,允許對較大的部件進行成像或曝光,並提供更廣泛的功能和選項。設備先進的圖像光學和舞臺運動系統，由於其先進的步進重復± 2.0 µm精確對準，提供穩定、精確、快速的圖像定位，並具有最小的熱失真和膨脹。該單元的成像機由一個主透鏡及其各自的同軸成像透鏡組成。主鏡頭調整以適應不斷變化的圖像失真，而成像鏡頭消除像差並提供最佳的圖像質量。其高效的電機控制工具也最大限度地減少像差，以達到最大性能。憑借先進的電機控制資產，它可以將晶片移動到4,000mm/s，進行高速對準和移動。NSR 2205的0.7-13.0µm分辨率確保了亞微米大小的圖案可靠暴露。該集成模型還配備了四向掃描設備，配備了Quadra級傳感器（QLS），用於準確檢測四級目標。此外,系統還配備了自動曝光控制（AEC）以提高縫合精度,並配備了光束自動傾斜（BAT）功能來檢測和補償任何旋轉誤差。NIKON NSR-2205I14E2還配備了先進的溫度控制裝置，以保持最佳的工作溫度，用於清潔和精確的晶圓處理。其先進的鏡像傳感器提供晶圓表面的實時監控和校正，以達到最大精度。該機先進的減振工具也有助於最小化由於振動造成的晶圓失真，使資產能夠進行高精度晶圓處理。NSR-2205 I14E2是需要精確、速度和精度的生產環境的理想步進器。它的14英寸配置和高級功能使其成為各種晶圓步進器應用的理想解決方案。NSR 2205 i14E2具有可靠的圖像處理模型、精湛的對準和曝光精度,以及先進的溫度控制和減振系統,為頂級晶片處理提供了最佳平臺。