二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #9217458 待售
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已售出
ID: 9217458
晶圓大小: 8"
Stepper, 8"
Notched Si wafer, 8"
Reticle, 6"
Inline with TEL ACT8
Chamber temperature: 23º C
Field size: 22" x 22"
Lamp power: 2.5 kW
Resolution: 0.35 μm
Altitude pressure: 995 mbar
Rack position: Right
Computer: NIKON NEST-α
In‐line track: Left side
Pre‐alignment orientation
Wafer carrier model
Wafer type: Notch
Wafer loader model: WL3 / Left in‐line
Wafer carrier table: Left & right
Reticle case type: NIKON Normal
(3) Reticle libraries
NCPR2
BCR
Multiple points auto focus
Chip (Table) leveling
FIA
LSA
Pellicle particle detector
On‐line interface
On‐line hardware: HSMS
MCSV 3.46A
OCSV 3.45P
Shrinc 4
Facility specifications: 208 V, 50 Hz, 3 Phase
Does not includes:
Down transformer
Europe safety & CE
LIA
Signal tower
Upgraded:
NEST Alpha console
Chamber FREON R407C.
NIKON NSR 2205 i14E2是一種最先進的晶圓步進器，由公認的成像產品領導者NIKON設計制造。這種步進器是光刻工藝的高效可靠工具，使芯片制造商能夠生產出具有生產精度的設備。晶片步進器通過將光源（如激光或鏡子）的光模制到晶片上來產生晶片上的特征。這通常用於半導體制造或研發。NIKON NSR-2205I14E2晶片步進器具有強大的性能和靈活性，是將圖樣精確對齊晶片的精密選擇。它提供了13.5納米的聚焦深度和13.8納米的全場聚焦深度，使整個晶圓的曝光精度和均勻性都很高。它具有一個4英寸寬的投影鏡頭，提供廣泛的曝光覆蓋，甚至在大型晶圓模式。此外,它還支持各種光學設備以滿足不同的應用和曝光要求。NSR-2205 I14E2晶片步進器提供一系列高級選項和功能,如高精度對齊設備、在線晶片映射系統、恒定速度和多次曝光、自動對齊調整等。對於高級集成和自動化，它可以與NIKON Lasers和Etchers系列配件完全自動化。這樣可以確保每個晶片都能在生產環境中精確曝光。此外，該晶片步進器還配備了直觀的用戶界面，確保了晶片曝光單元的輕松精確的控制。它具有各種內置功能，以提高過程的準確性和效率。曝光時間和照明也可以用軟件控制，讓用戶精確控制曝光過程。總之,NIKON NSR-2205 I14E2晶片步進器是芯片制造商的精密解決方案.由於其精確的對準機器、高曝光精度和眾多的自動化功能,它在成像和對準精度方面提供了卓越的性能。它是任何需要高精度和速度的生產環境的理想選擇。
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