二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #9293862 待售

NIKON NSR 2205 i14E2
ID: 9293862
i-Line stepper.
NIKON NSR 2205 i14E2是一種高性能的高級晶圓步進器,設計用於半導體和其他光刻應用的大批量生產。此設備具有一個可測量200 mm的曝光場,最大圖像場大小為47.5mm。它配備了高分辨率和高速線性級,以及高精度的塗層和曝光級,用於均勻和精確地曝光基板。NIKON NSR-2205I14E2具有明亮、高對比度的高清液晶顯示器,具有五英寸的顯示尺寸和兩軸自動對焦功能,可精確對準曝光過程的每個階段並獨立設置焦點。NSR-2205 I14E2與四種類型的NIKON可選光源同步,以獲得更精確的曝光。它擁有光源強度控制系統,使用戶能夠在不同光源之間切換,以達到最佳曝光效果。此外,它還支持具有自動對齊對齊單元(AADS)的高精度叠加對齊過程,以精確對齊多個掩碼。NSR 2205 i14E2配備了成像透鏡、還原面罩、環形反射器、A薄膜等多種光學解決方案,以充分優化曝光過程。它與許多自動標記系統兼容,如DUM-F和DAS,用於精確的晶圓取向和光掩碼對準。此光掩碼還可以與腳本文件檢查過程一起使用,以檢查掩碼模式的正確性。NSR-2205I14E2具有視覺吸引力、用戶友好和直觀的設計,便於操作和維護。它具有用於實時查看曝光狀態的集成顯示器和用於外部數據存儲的兩個USB端口。它由高級NIKON SCM(軟件控制模塊)提供支持,它提供了廣泛的特性和功能,並確保了一致的圖像質量。此外,本機還配備了多項安全功能,如排氣工具和激光反射器,以保持環境安全。
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