二手 NIKON NSR 2205 i8 #9248501 待售

NIKON NSR 2205 i8晶片步進器是專門為8英寸晶片設計的多功能光刻設備。該系統完全自動化，可用於各種光學光刻應用。它具有最先進的2 ×變焦鏡頭、雙6位光學設置和新開發的i-line源。NSR 2205 i8晶片步進器能夠以0.5微米的分辨率在小到5微米的矽晶片上精確再現圖樣。它具有先進的對準精度和減少退火時間的特點，這對於減少循環時間和降低晶圓產量至關重要。它配備了一個掩模對準單元和一個板載執行器，可以在光刻過程中將掩模精確地放置在晶圓的中心。NIKON NSR 2205 i8配備了掃描頭和完全集成的軟件，使用戶能夠準確控制光刻並保持可重復的性能。該機器采用雙閃光曝光過程，可以在一次曝光中對微觀特征和中觀特征進行成像。它還提供了與流行的光刻設計系統（如磁帶到磁帶、CoreComplete和Maestro）的兼容性。NSR 2205 i8有兩種不同的掃描模式：線性和離線。線性模式將圖像直接渲染到晶片上,而離線模式將圖像渲染到中間基板上,然後將其傳輸到晶片上。它還具有6X和12X兩種不同的光學設置,以實現更高分辨率的成像。該工具提供了高級計量功能,包括內置的審查站、光譜掃描和自動對焦。此外，它還可以配備對齊驗證資產、自動晶圓映射、對齊復選夾等可選功能。總體而言，NIKON NSR 2205 i8晶圓步進器是一種智能多功能光刻模型，專為8英寸晶圓而設計。它在圖樣精度和吞吐量方面提供了卓越的效果，使其成為高端光刻應用的理想選擇。