二手 NIKON NSR 4425i #293604875 待售
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NIKON NSR 4425i是下一代晶圓步進器,提供高精度、高吞吐量和經濟高效的標線檢查和計量。這種最先進的工具將業界領先的成像功能與無與倫比的環境性能相結合,使其能夠處理從最先進的IC光刻處理到要求最苛刻的特征尺寸應用的所有問題。NIKON NSR-4425I的核心是該公司獨有的DRY技術。這為用戶提供了業界領先的失真和焦點校正,以獲得最佳的成像性能,從而減少了掃描領域的光學像差。該裝置能夠設置224,000個步進場位置,並可產生高達3到8 µm的分辨率,用於0.25 µm設計規則和更大的設計。除了出色的光學性能和成像性能外,NSR 4425 I還提供了改進的安裝時間、高基板吞吐量以及更少的晶圓和掩模鑒定步驟。該裝置堅固的環境能力包括控制晶圓溫度和濕度,以及低振動機構和低粒子振動過濾器。NIKON NSR 4425 I還提供了一系列計量功能,包括自動化和手動特性分析、合並和縫合,以及針對2D、3D和內聯功能的自動光刻檢查。它還提供數據挖掘、規則檢查和其他高級分析功能,從而實現快速、精確的缺陷檢測和過程鑒定。NSR 4425i設計時考慮了操作員的安全,它具有緊急停止按鈕、安全蓋(可讓您無憂地檢查晶片和掩面),以及低散射激光單元以控制粒子。此外,該單元還具有內置的過程控制功能,因此用戶可以輕松調整光刻過程並監控計量操作,以確保獲得最佳效果。總之,NSR-4425I是一種先進的晶圓步進器,具有很高的精度、準確性和性能.它具有DRY技術、環境控制、計量特性和安全特性,是半導體光刻和檢測應用的理想工具。
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