二手 NIKON NSR 4425i #293606712 待售
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ID: 293606712
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Resolution: 0.7
NA: 0.3
Exposure wave length: i-Line
Reduction: 1/2.5
Expose field: 44 x 44.
NIKON NSR 4425i是一種用於半導體制造的最先進的晶圓步進器。它獨特地配備了大型光學器件和大型冷場發射槍(FEG)電子源,使得大型基板的加工成為可能。NIKON NSR-4425I的光學設備包括一個高質量的物鏡、一個照明器和一個將光束分成兩個不同光路的分束系統。物鏡允許在基板內進行高分辨率掃描,而照明器在基板上產生均勻的光束強度。光束分割單元將光束分成兩個光路,允許同時成像基板的兩個不同位置。這樣可以提高生產過程中基板的吞吐量和更好的均勻性。NSR 4425 I中的FEG電子源提供比傳統場發射源更高能量的電子,使其能夠更快、更精確地處理底物。此外,FEG源還提供了降低的噪聲水平和更短的電子脈沖寬度-這些都可以改善晶圓步進器上的成像性能。NSR-4425I配備了一個全面的控制機器,提供遠程和本地操作和機器的管理。它支持一系列形狀布局,包括多邊形、直線和曲線,以及幾種模式移位和叠加控制操作。此外,用戶可以選擇比使用其他電子源的系統高20倍的工藝速度。總之,NIKON NSR 4425 I是一種先進的晶圓步進器,專為最苛刻的半導體制造工藝而設計。它結合了高分辨率的光學工具,增加了電子功率和綜合控制資產,提供了更快的吞吐量和更好的底物處理效果。
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