二手 NIKON NSR 4425i #9225991 待售

製造商
NIKON
模型
NSR 4425i
ID: 9225991
優質的: 1995
Stepper, 6" 1995 vintage.
NIKON NSR 4425i是下一代晶圓步進器,旨在支持納米技術和半導體制造中引人註目的光刻應用。掩模與晶片的精確對準使半導體器件制造所用的光掩模實現了復雜、三維的模式傳遞和更高的可靠性。它是一種最先進的4束設備,非常適合0.15微米到5xnm的工藝。利用NIKON NSR-4425I,制造商可以提高工藝產量,提高基板上可打印特征的準確性。NSR 4425 I是一種投影對準器,速度和精度都非常高,可讓它以低於10nm的分辨率每秒提供高達200步的速度。它提供了一個投影區,其晶圓尺寸可達200 mm,最大投籃尺寸為27mm,投籃到投籃的覆蓋精度為1.5nm Liner Error。步進器還具有高精度線性級、振動屏蔽工作臂和基於CMOS的自動對焦系統。此外,NSR-4425I還可以配備高速精細對準裝置,以實現高精度性能。NSR 4425i的投影儀使用的是四角照明機,一致性提高了100倍。它還配備了產生超大掃描場的高強度光源,使其能夠更快、更準確地打印大基板。此外,NIKON NSR 4425 I能夠在正交或彎曲場中精確分解用於打印的蒙版圖案。NIKON NSR 4425i用戶友好,具有自動啟動和自動停止操作、重復聚焦跟蹤以及內置標準工具和設置的光刻庫。內置設置均衡照明和生產條件,允許操作員根據工藝要求調整參數。此外,NIKON NSR-4425I還采用了先進的計量和缺陷測量工具.這一資產使用戶能夠準確地監視和測量對準、暴露形狀和劑量、聚焦和邊緣位置以及每個射門位置的汙染,然後報告任何潛在缺陷。NSR 4425 I有各種各樣的可編程選項,可以很容易地集成到生產線中。它具有集成的網絡功能,便於從各種工作站遠程監視和控制模型。該機器還能夠與外部測試和計量系統相連接,允許用戶收集詳細的產品數據,以便進一步分析和過程控制。總體而言,NSR-4425I是一種先進的晶圓步進器,使制造商能夠以卓越的速度、穩定性和準確性生產高精度、高精度的陣列。它是一種可靠、用戶友好的機器,適用於廣泛的光刻應用。
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