二手 NIKON NSR FX-601F #9255391 待售
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ID: 9255391
優質的: 1998
Stepper
Gen 2 (370 mm x 470 mm)
Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels
Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S)
Projection magnification: 1: 1.25 x
Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm)
Reticle size, 6"
Holds: ~(50) Reticles
Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ)
Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²)
1998 vintage.
NIKON NSR FX-601F是一種高性能晶圓步進器,旨在滿足半導體行業苛刻的要求。該FX-601F提供了最先進的特征識別、精確對齊和過程控制。它擁有獨特的混合驅動設備,可以處理直徑達8英寸的基板,可以容納大場曝光或小場曝光,同時還提供先進的多場縫合和縫合優化。FX-601F的混合驅動系統采用了直接驅動和齒輪驅動線性運動的組合,允許高可靠性的大型基板高速傳輸。此外,FX-601F還利用空氣軸承裝置,這有助於減少整體伸長和熱膨脹,從而使各種環境的性能更加一致。這種特征識別技術也使FX-601F能夠處理較小和復雜的基板。該FX-601F具有先進的多場縫合操作。這允許使用內置在機器中的優化軟件進行高分辨率的縫合。此優化最大程度地減少了實現所需精度所需的字段、軌道和重叠的數量,並通過最小化用戶輸入來提供最大效率。該FX-601F還具有獨特的高級特征識別工具。資產能夠精確識別和註冊具有高精度的特征,從而即使是最復雜的模式也能產生高收益率。FX-601F的高端光學器件確保了卓越的圖像質量和高精度。該FX-601F還包括高速自動對焦模型,以及便於樣品移動的電動舞臺。該FX-601F包括一系列標準工具,可進一步提高生產效率並可靠地滿足盡可能高的性能要求。該FX-601F的設計旨在減少停機時間、提高質量,並通過其高級功能確保高產量。NIKON NSR FX 601 F是一款先進的晶圓步進器,旨在滿足半導體制造的苛刻要求。憑借其混合驅動設備、特性識別、多場縫合能力,FX-601F是各種基板的可靠而強大的工具。其先進的光學、自動對焦系統和電動舞臺最大限度地提高了生產吞吐量,允許精確的樣品移動,並確保優越的圖像質量。該FX-601F是一個理想的半導體制造工具,提供最佳的性能和可靠性。
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