二手 NIKON NSR G3A #293652738 待售

NIKON NSR G3A是下一代高精度晶片步進器，能夠在半導體晶片上產生極其復雜的模式。這款晶片步進器配備了先進的光學設備，設計目的是為了滿足大批量生產的最高需求。NSR G3A能夠生成分辨率高達248 nm的模式。NIKON NSR G3A能夠每小時曝光多達1400個晶圓，能夠接受標準的6至8英寸晶圓，最大直徑為200毫米。NSR G3A有一個掃描系統，由兩個獨立的galvano-mirror供電，每個galvano-mirror提供0.5nm分辨率。每一個鍍鋅鏡都配有一個高r ality消色差透鏡和可調節的光圈，以便提供對圖樣的銳利成像。NIKON NSR G3A有一個唯一的圖像校正單元，它通過補償介電常數變化引起的任何失真自動調整鏡像圖像。NSR G3A擁有一臺先進的光刻機，能夠產生線寬小至200 nm的圖案。晶片步進器能夠將矽晶片暴露出最多4層銅、金和鋁。NIKON NSR G3A具有高精度級，能夠運動細至0.5µm（500 nm），最高速度為100 mm/sec。NSR G3A還配備了直觀且用戶友好的圖形用戶界面（GUI），使計算機易於編程和控制。菜單直觀，操作簡單，有一個易於使用的功能菜單，允許定制模式數據。NIKON NSR G3A有一個高度可靠的光束監視工具，可以不斷監視光束的運動和曝光，以防止任何錯誤或損壞。為了確保高質量的生產,NSR G3A配備了詳盡的診斷資產,可以不斷監控其性能並檢測生產中的任何問題。NIKON NSR G3A由一個非常強大的冷卻模型提供動力，該模型調節溫度並確保機器的高效冷卻。NSR G3A還有一個可選的空氣/凈化設備,可確保清潔和無灰塵的暴露。總體而言,NIKON NSR G3A是一種先進的晶圓步進器,能夠進行高度精確的光刻,非常適合大批量生產。獨特的光學系統、圖像校正單元，以及高度精確的級，使得這種晶片步進器成為可靠準確的半導體生產的理想選擇。