二手 NIKON NSR G3A #9194239 待售

NIKON NSR G3A（晶圓步進器）是為研究實驗室和晶圓制造開發的一種高度先進的光刻設備。它利用先進的技術自動對準和曝光晶片上的光掩模和標線，然後用於生產集成電路（IC）。NSR G3A有一個步進器,用於將圖樣從標線直接傳輸到晶圓平面。它具有高分辨率的激光光頭，可以將掃描尺寸減小到亞微米級，以及高精度、高速的級系統，帶有用於掩模對晶片對準和穩定接收的級跟蹤傳感器。此外，該單元還配備了圖像減量機，可調節圖樣的減小放大倍數。該工具采用超高速一步移動,以實現精確對準和快速曝光。此外,使用簡單的待機命令,資產可以隨時啟動,並在兩分鐘內從其上次曝光位置恢復。NIKON NSR G3A還使用KLA2D圖像處理模型進行全自動對齊和壓電分析。設備從多個曝光序列中自動識別晶圓邊緣和覆蓋對齊模式,以檢查確切的曝光大小。NSR G3A的先進設計確保了其低相幹照明系統能夠對寬度為1微米或更小的孤立相關結構進行建模。此外,它的過程控制軟件使用戶能夠執行校準測試以及創建和編輯曝光程序。這個單元還配備了一個機動化的掩模調平階段，快速調整散光而不改變焦點。最後,NIKON NSR G3A是研究實驗室和晶圓制造的理想選擇.它的高分辨率激光光頭、電動掩模調平臺和簡單的待機指令相結合，提供了一種高效的光刻機，能夠在晶片上放置精確的圖樣。因此,此工具是創建集成電路的絕佳選擇。