二手 NIKON NSR G6 #9284156 待售
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NIKON NSR G6晶片步進器是一種先進的用於半導體器件制造的精密光刻設備。該系統能夠成像晶片、光掩模、用於顯示應用的大型基板、3D微結構等等。借助先進的晶圓級設計技術,這臺設備可以為各種電氣、機械、光學和電光器件,特別是半導體芯片制造和設計微觀設計。該機采用0.52 NA設計,保證了優越的圖案均勻性。它還具有直觀的用戶界面和大舞臺的節能設計,允許高通量和出色的重復性。其精密的曝光模式,最大精度1.2 nm,舞臺時間優化。此外,NSR G6還配備了集成真空柱和校準技術,以提高穩定性.這樣可以確保工具產生一致的質量模式,並可以處理具有挑戰性的蝕刻和陣列應用程序。NIKON NSR G6以其先進的對準和對準控制能力設計用於最精確的層處理。它能夠在優化CD均勻性的同時,一步步實現水平、聚焦和成像。此外,G6還擁有集成的計量系統,可提供實時成像反饋,以實現連續優化。該資產還具有主動除帽和防滑技術,以確保生產中的最高吞吐量和質量。由於NSR G6具有出色的曝光模型,它具有集成的ICP(感應耦合等離子體)源以及顆粒汙染控制功能,並減少了潛在的規格外變異性。這使用戶能夠持續處理最具挑戰性和最復雜的設備。與其他步進器相比,NIKON NSR G6晶片步進器提供了一定的精確度和一致性,成本僅為成本的一小部分。它是任何需要高精度、高生產率和可靠性的應用程序的完美解決方案。此外,它的性能和成本效益相結合,使NSR G6成為滿足任何設備制造需求的理想選擇。
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