二手 NIKON NSR G7 #9226167 待售

NIKON NSR G7是一種用於制造集成電路的頂級晶圓步進器（步進光刻設備）。它具有先進的投影成像系統，能夠將高達1500萬個分辨率的元素投影到晶圓基板上。其高端分辨率為4 nm，立體光刻測量為5 nm，高速掃描能力高達每小時800晶圓，納米定位精度在0.2 μ m以內。NSR G7的控制單元包括二維光學掃描儀、可變放大倍率的投影機和NIKON Pattern Generator（NPG）。光學掃描儀可實現可靠的成像,成像速率比以前的系統高10倍。投影工具具有很高的臨界尺寸（CD）控制精度，包括NIKON專有的可變放大資產（VMS）技術。VMS允許用戶為各種流程選擇理想的放大倍率。NPG生成精確的模式,即使是更小的模式也具有出色的可重復性。NIKON NSR G7利用NIKON先進的工藝，包括無鏡像自動對準、功能強大的模式發生器和工藝控制軟件，進一步增強制造能力。無鏡像自動對齊消除了手動對齊參考標記的需要。這種能力使得能夠更快地在同一晶圓上制造高密度設計。NPG模式發生器在高級節點光刻過程中生成模式提供了極大的靈活性,提高了40%的生產率。為了減少流程優化任務的時間，流程控制軟件使得無需編寫程序即可自動調整和優化流程。NSR G7還配備了晶片與晶片對準的先進模型架構，使得大掃描場的放置精度達到1 μ m。因此,它提供了高吞吐量、出色的吞吐量均勻性以及更高的覆蓋精度。該設備還具有一個徹底的自動夾緊系統，可以確保數千個晶片的加工和提高效率。總體而言,NIKON NSR G7是一款先進的光刻設備,在一臺可靠的機器中具有極高的精確度、高分辨率和大量的功能。它是從前沿制造商到批量生產的各種制造工藝的理想選擇。